外延、芯片、封装——揭秘UVLEDTEK全产业链技术

作为专业的紫外LED芯片、封装及光源系统供应商,优炜星拥有基于博士、博士后、高级工程师等资深技术人员组成的高

2021-05-20
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技术分享




作为专业的紫外LED芯片、封装及光源系统供应商,优炜星拥有基于博士、博士后、高级工程师等资深技术人员组成的高水平研发技术团队。



以及——

外延生长-芯片制备-器件封装-光源系统

完备的半导体紫外LED研发生产线


 





长期以来,优炜星专注于紫外LED的产业化应用。与传统汞灯的原理不同,UVLED 是利用 p-n 结附近的非平衡载流子辐射复合进行发光,由此杜绝了热效应带来的能源浪费问题,同时也更为坚固耐用,也不产生电磁污染。







优炜星光源产品制备工艺

UVLED 根据结构可以分为横向型、垂直型和倒装型三种,优炜星UVA及UVC光源分别采用了位于苏州的自有外延芯片工厂所生产的横向型及倒装型产品。




优炜星UVA-LED光源制备流程可概括为:


  1. 在蓝宝石衬底上依次外延生长缓冲层、n 型区、有源区、EBL、p 型区;

  2. 将在 p 型区外延表面蒸镀 ITO 透明电极和金属电极,然后刻蚀外延片一角至 n 型区并在此平台上制备电极;

  3. 分离封装。这个过程中涉及到外延、退火、蒸镀、抛光、光刻、刻蚀、研磨等多项工艺手段。


其中外延衬底是材料生长的基础

是制备高品质UVLED的首要条件





优炜星UVC-LED光源制备:


倒装型 UVLED 

是将横向型 LED 倒扣在热导率较高的衬底上,散热性能好,也更容易改变器件间的串并联关系。


与UVA-LED不同之处

在于其关键加工技术——倒装焊接,一种连接器件电极和基板布线层的技术:首先利用电子束蒸发技术实现基板布线层表面的金属化,再利用晶圆植球机制备金属凸点,最终使用全自动的倒装焊接设备完成焊接。







优炜星紫外LED全产业链核心技术



外延

在单晶衬底的表面上淀积具有特定晶向的单晶薄膜的办法。

这种生长方式获得的晶体与衬底晶体有着相似的晶向,就像衬底晶体晶向的向外延伸。


光刻工艺:

将所需要的图形复印到外延衬底上,并利用刻蚀工艺刻蚀掉不需要的部分,完成最终的图形。

1. 将外延片表面均匀涂满光刻胶 (可以在特定光照下凝固或融化的物质)并烘焙;

2. 将掩模板定位在外延片上并进行曝光;

3. 洗掉不需要的光刻胶(显影),对需要的光刻胶进行坚膜处理。

4. 检查图形无误后进行刻蚀处理,全部完成时将剩余的光刻胶去除。


刻蚀:

利用腐蚀性气体或液体对晶圆进行腐蚀。

晶圆需要被刻蚀的部分通常由光刻标出,其余部分由光刻胶(正胶)进行保护。


蒸镀工艺

焊接 UVLED 的电极。

UVLED常用的ITO透明电极和各种金属电极都可以通过蒸镀工艺实现。


封装

直接影响器件的出光率和可靠性,是器件制备的关键工艺。封装流程通常可分为五个步骤:

1. 准备芯片和支架;

2. 固晶;

3. 压焊;

4. 密封;

5. 切割和测试。





拥有全产业链技术的优炜星,能够为合作伙伴提供高性能近紫外LED固化装备、高质量深紫外LED芯片/灯珠与服务,以卓越的科技创新能力打造丰富的紫外行业解决方案,构建开放共赢的产品生态,推动产业规范建设,助力胶水、涂料、油墨紫外固化及空气、水、表面杀菌各行各业实现LED产业化升级。




优炜星,您可靠的UV伙伴!






-  2008年03月  -

武汉优炜星科技有限公司诞生武汉光电国家研究中心;

-  2015年10月  -

优炜星开始研发光纤、胶印、标签、液晶固化光源系统,实施研发的“登峰计划”,勇攀UV固化的高精尖领域;

-  2017年10月  -

与国内UV油墨领先供应商达成战略合作,批量推广胶印光源,截至2019年7月已装机110台以上,为国内胶印机改装市场占有率NO.1

-  2018年5月  -

公司第一台大功率液晶固化面光源一次装机成功,标志公司产品成功进入LCD cell段工艺,为国内首创;

- 2019年2月  -

优炜星标签柔印固化光源系统以独家工艺技术突破业内最高印速瓶颈,开启与知名品牌标签机厂商合作大门;

-  2019年9月  -

优炜星UV标签、胶印、液晶等光源系统市场拓展至欧洲、日本、泰国、马来西亚、土耳其、越南、巴西等国,海外业绩实现快速增长。



END

武汉优炜星科技有限公司

地址:武汉市东湖新技术开发区华工科技园现代服务业基地1号研发楼B座5楼

邮编:430223

联系电话:(+86)027-87971689

联系邮箱:sales@uvledtek.com(销售)


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